SOI基光耦合器研究进展

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SOI基光耦合器研究进展
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基金项目:国家自然科学基金(60336010); 973项目(G20000366); 863项目(2002AA312060)资助

The Progress of Silicon-on-insulator Couplers

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文章综述了国内外光耦合器的最新研究进展,着重介绍了目前耦合效率最高(55%),且与偏振无关的双光栅辅助定向耦合器的工艺流程、结构性能以及进一步提高耦合效率的可行性。

Abstract:

In this paper the latest progress of optical couplers is reviewed.The emphasis is placed on the fabrication,structures of the most efficient(55%) dual grating-assisted directional coupler and the possibility of further improving the coupling efficiency.

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引用本文

刘艳;余金中. SOI基光耦合器研究进展[J].激光与红外,2007,37(1):18~21
LIU Yan; YU Jin-zhong. The Progress of Silicon-on-insulator Couplers[J]. LASER & INFRARED,2007,37(1):18~21

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