MOCVD生长不同Al组分AlGaN薄膜

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MOCVD生长不同Al组分AlGaN薄膜
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基金项目:国家重点基础研究发展规划973（2006CB6049）；国家高技术研究发展规划（2006AA03A103，2006AA03A118，2006AA03A142,2006AA03Z411）；国家自然科学基金（6039070，60421003，60676057）；教育部重大项目(10416)，高等学校博士学科点专项科研基金(20050284004)；江苏省自然科学基金项目（BK2005210）；江苏省高等学校研究生创新工程基金和南京大学研究生科研创新基金

Variational Al Composition Crackfree AlGaN Films Grown by Metal Organic Chemical Vapor Deposition

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本文研究了利用金属有机物化学汽相淀积系统(MOCVD)生长高质量不同Al组分AlxGa1-xN薄膜(0.13

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Variational Al composition AlxGa1-xN (0.13

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刘斌,张荣,谢自力,张禹,李亮,张曾,刘启佳,姚劲,周建军,姬小利,修向前,江若琏,韩平,郑有炓,龚海梅. MOCVD生长不同Al组分AlGaN薄膜[J].激光与红外,2007,37(13):964~966
LIU Bin, ZHANG Rong, XIE Zi-li, ZHANG Yu, LI Liang, ZHANG Zeng, LIU Qi-jia, YAO Jin, ZHOU Jian-jun, JI Xiao-li, XIU Xiang-qian, JIANG Ruo-lian, HAN Ping, ZHENG You-dou, GONG Hai-mei. Variational Al Composition Crackfree AlGaN Films Grown by Metal Organic Chemical Vapor Deposition[J]. LASER & INFRARED,2007,37(13):964~966

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