碲镉汞液相外延薄膜典型缺陷及其起源分析
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Analysis of the Main Defects and Its′ Origin on HgCdTe Film Grown by LPE
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    摘要:

    通过碲镉汞液相外延薄膜的典型缺陷的研究,结合国内外的研究现状,综述了各种缺陷的特征、起因、消除方法等。通过对HgCdTe液相外延层中常见的缺陷进行归纳和总结,探讨各种缺陷的可能起因,以达到提高液相外延工艺水平的目的。

    Abstract:

    This paper reviews the study on the classification,characteristics,origination and eliminating methods of the main defect on LPE epilayers grown by LPE. By measurement and assessment of the defects in HgCdTe epilayers,it can be possible to improve the growth procedure to meet the demanding requirements of future generation large format focal-plane arrays.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

刘铭,周立庆.碲镉汞液相外延薄膜典型缺陷及其起源分析[J].激光与红外,2009,39(3):280~284
LIU Ming, ZHOU Li-qing. Analysis of the Main Defects and Its′ Origin on HgCdTe Film Grown by LPE[J]. LASER & INFRARED,2009,39(3):280~284

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