193 nm深紫外固体激光技术探索

首页 > 过刊浏览>2010年第40卷第10期 >1068-1070

193 nm深紫外固体激光技术探索
DOI:
                        
                    
作者:
                        郑俊娟，秘国江，王旭，毛小洁，钟国舜郑俊娟，秘国江，王旭，毛小洁，钟国舜
北京服装学院基础部，北京 100029;固体激光技术重点实验室，北京 100015;华北光电技术研究所，北京 100015
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中图分类号:
基金项目:

Feasibility research of 193 nm deep ultraviolet solid state laser technology

Author:

ZHENG Jun-juan,BI Guo-jiang,WANG Xu,MAO Xiao-jie,ZHONG Guo-shun
ZHENG Jun-juan,BI Guo-jiang,WANG Xu,MAO Xiao-jie,ZHONG Guo-shun
Beijing University of Fashion Technology,Beijing 100029,China;Solid Laser Technology Key Lab,Beijing 100015,China；North China Research Institute of Electro-optics,Beijing 100015,China
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摘要:

对193 nm深紫外激光技术实现途径进行了系统地分析，提出了一种可获得高重复频率、高光束质量的深紫外固体激光技术途径，分析了涉及的关键技术，对实用化深紫外固体激光源的研制具有一定的参考价值。

关键词:193 nm深紫外激光;谐波转换;固体激光技术

Abstract:

In this paper,the way of obtaining 193 nm deep ultraviolet laser is analyzed,and a LD pumped solid state laser system by harmonic generations is reported,which has narrow line width,high repetition rate and high beam quality,and is some valuable to make small size and practical 193nm deep ultraviolet solid-state laser.

Key words:193 nm deep ultraviolet laser;harmonic generation;solid state laser technology

引用本文

郑俊娟,秘国江,王旭,毛小洁,钟国舜.193 nm深紫外固体激光技术探索[J].激光与红外,2010,40(10):1068~1070
ZHENG Jun-juan, BI Guo-jiang, WANG Xu, MAO Xiao-jie, ZHONG Guo-shun. Feasibility research of 193 nm deep ultraviolet solid state laser technology[J]. LASER & INFRARED,2010,40(10):1068~1070

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