锑基二类超晶格中波红外焦平面探测器技术

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锑基二类超晶格中波红外焦平面探测器技术
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Research on Sb-based type-Ⅱ superlattice MW infrared focus plane array

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摘要:

InAs/GaSbⅡ类超晶格以其特有的量子效率高、暗电流小、能带结构可调等材料性能和器件优势，成为第三代红外探测器技术的最佳选择之一。本文报道了中波InAs/GaSb Ⅱ类超晶格材料的设计、生长、器件工艺技术，制备出了高性能的128×128中波InAs/GaSb Ⅱ类超晶格红外焦平面探测器，像元暗电流密度降到1.8×10-7A/cm2，量子效率达36.64%。

Abstract:

Owing to the excellent material performance and device advantage of InAs/GaSb Type-Ⅱsuperlattice such as high quantum efficiency，low dark current and adjustable energy band structure，it has been one of the best choice for the third-generation infrared focal plane arrays detector.Material design，material growth and device technology of MW InAs/GaSb Type-Ⅱsuperlattice are reported.High performance 128×128 MW focal plane arrays were fabricated.Dark current density is 1.8×10-7A/cm2 and quantum efficiency reaches 36.64%.

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巩锋,马文全,谭振,刘铭,王亮,张燕华,邢伟荣.锑基二类超晶格中波红外焦平面探测器技术[J].激光与红外,2014,44(3):258~260
GONG Feng, MA Wen-quan, TAN Zhen, LIU Ming, WANG Liang, ZHANG Yan-hua, XING Wei-rong. Research on Sb-based type-Ⅱ superlattice MW infrared focus plane array[J]. LASER & INFRARED,2014,44(3):258~260

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在线发布日期: 2014-04-01
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