灵敏度可调的光学读出非制冷热像元设计
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国家自然科学基金(No.11264021);江西省青年科学基金(No.20132BAB216011);九江学院科研项目(No.2013KJ16)资助


Design of optical-readout uncooled thermal imaging pixel with adjustable sensitivity
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    摘要:

    设计了一种可见光反射型光学读出非制冷热像元结构。理论分析表明热像元的热-机械灵敏度达到0.043 deg·K-1,在热像元面积比已有报道减小75%的情况下,热-机械灵敏度反而提高至少79%。通过改变弯折梁底层金膜的面积来调节热像元的灵敏度,使其可在2.36×10-6rad·m2·W-1和9.21×10-6rad·m2·W-1之间变化。ANSYS仿真结果和理论结果吻合较好,验证了设计的正确性。

    Abstract:

    A design of optical readout uncooled thermal imaging pixel is proposed. The theoretical analysis shows that,thermal-mechanical sensitivity reaches 0.043 deg·K-1 and increases by 79% at least when the pixel size decreased by 75% compared with reported ones. Sensitivity can be adjusted from 2.36×10-6 rad·m2·W-1 to 9.21×10-6 rad·m2·W-1 by changing the size of the bottom gold layer on the folded cantilever. Finite element simulations by ANSYS are in good agreement with theoretical results,which verifies the validity of the design.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

周玉修,程融,刘坚强,曾玮,孙光厚,李铁.灵敏度可调的光学读出非制冷热像元设计[J].激光与红外,2015,45(2):158~162
ZHOU Yu-xiu, CHENG Rong, LIU Jian-qiang, ZENG Wei, SUN Guang-hou, LI Tie. Design of optical-readout uncooled thermal imaging pixel with adjustable sensitivity[J]. LASER & INFRARED,2015,45(2):158~162

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  • 在线发布日期: 2015-03-23
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