低暗电流高温工作碲镉汞红外探测器制备技术
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Low-dark current HOT infrared focal plane arrays using MCT technology
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    摘要:

    报道了与传统的n-on-p结构相比具有更低暗电流的p+-on-n型碲镉汞红外探测器的研究进展。通过水平滑舟富碲液相外延生长的方法在碲锌镉衬底上原位生长In掺杂碲镉汞n型吸收层材料,然后再分别采用As离子注入技术和富汞垂直液相外延技生长技术实现了P型As外掺杂的p+-on-n型平面型和双层异质结台面型两种结构的芯片制备。碲镉汞探测器的主要缺点是需要低温制冷,期望碲镉汞探测器在不降低性能的前提下具有更高的工作温度(High Operating Temperature,HOT),成为红外探测器技术发展的主要方向。本文对基于标准的n-on-p(Hg空位)掺杂工艺及新研制的p-on-n型As离子注入及异质结制备技术的探测器进行了高温性能测试,测试结果表明采用p-on-n型的碲镉汞探测器能够实现更高的工作温度。

    Abstract:

    In this paper the recent development on manufacturing and characterization of low dark currents p+-on-n HgCdTe photodiodes was presented.The n-Type HgCdTe (MCT) absorber layer was grown by liquid-phase epitaxy (LPE) on lattice matched CdZnTe (CZT) substrate and the P type layers are grown by As Ion plantation and vertical LPE (VLPE) from Hg-rich melts doped with arsenic.It is desirable that the MCT detectors can operate at high operating temperatures (HOT) without sacrificing their performance.We present our latest results on the standard n-on-p(Hg vacancy doped),ion implantation of arsenic and heterostructure p-on-n photodiode technology was selected for detailed HOT testing.The results prove that the performance of p-on-n photodiode is better than other devices at high operating temperatures.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

田震,肖昕,宋淑芳,胡尚正,周立庆.低暗电流高温工作碲镉汞红外探测器制备技术[J].激光与红外,2019,49(7):861~865
TIAN Zhen, XIAO Xin, SONG Shu-fang, HU Shang-zheng, ZHOU Li-qing. Low-dark current HOT infrared focal plane arrays using MCT technology[J]. LASER & INFRARED,2019,49(7):861~865

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  • 在线发布日期: 2019-12-03
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