基于MBE替代硅衬底的材料综述
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Summary of materials based on MBE substituting silicon substrate
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    主要介绍了几种用MBE技术生长HgCdTe/CdTe的Si衬底的替代性衬底材料的基本参数,以及不同材料的最新生长过程及结果,和对它们的生长结果的比较分析,以此来选择较为适合替代Si衬底来生长HgCdTe/CdTe的衬底。本文通过一系列的对比,得出目前最有发展前景的替代衬底是GaSb衬底,是未来发展的方向。

    Abstract:

    This paper mainly introduces the basic parameters of several alternative substrate materials for growing HgCdTe/CdTe Si substrates by MBE technology,as well as the latest growth processes and results of different materials,and comparative analysis of their growth results.A substrate,which is more suitable for replacing the Si substrate to grow HgCdTe/CdTe is selected.Through a series of comparisons,it is concluded that the most promising alternative substrate is GaSb substrate,which is the direction of future development.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

李震,王亚妮,王丛,高达,周朋,刘铭.基于MBE替代硅衬底的材料综述[J].激光与红外,2020,50(6):643~650
LI Zhen, WANG Ya-ni, WANG Cong, GAO Da, ZHOU Peng, LIU Ming. Summary of materials based on MBE substituting silicon substrate[J]. LASER & INFRARED,2020,50(6):643~650

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  • 在线发布日期: 2020-06-24
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