飞秒激光微孔加工发展综述
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陕西省特种加工重点实验室开放基金项目(No.SXTZKFJJ201902);西安市未央区科技计划—产学研协同创新计划项目(No.201912)资助


Research progress of femtosecond laser micropore processing
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    摘要:

    随着飞秒激光器的成熟,飞秒激光的应用越来越广泛。由于飞秒激光独特的属性,在微孔加工中具有明显的优势。本文介绍了飞秒激光与材料之间的相互作用机理、飞秒激光打孔的理论研究发展、打孔方式的研究以及各种飞秒激光加工参数的探索。总结了目前发展遇到的问题,未来的发展趋势并提出自己的观点。

    Abstract:

    With the maturity of femtosecond lasers,the application of femtosecond lasers is becoming more widespread.Due to the unique properties of femtosecond lasers,there are significant advantages in micropore processing.This paper introduces the interaction mechanism between femtosecond laser and materials,the theoretical research and development of femtosecond laser drilling,the study of drilling methods and the exploration of various femtosecond laser processing parameters.The current development problems and the future development trend are summarized and the own views are put forward in the end.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

马国庆,肖强.飞秒激光微孔加工发展综述[J].激光与红外,2020,50(6):651~657
MA Guo-qing, XIAO Qiang. Research progress of femtosecond laser micropore processing[J]. LASER & INFRARED,2020,50(6):651~657

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  • 在线发布日期: 2020-06-24
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