HgCdTe外延材料批量化生产及其质量控制
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Mass production and quality control of HgCdTe epitaxial material
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    经过多年研发,我司的碲镉汞(HgCdTe)红外焦平面探测器已达到批量生产的水平。优异性能的红外探测器离不开高质量的HgCdTe外延材料,外延材料的厚度及组分均匀性、表面缺陷的控制以及HgCdTe外延/CdZnTe衬底晶格匹配度是批量化生产中需要控制的关键性因素,红外探测器的批量化生产也给HgCdTe外延材料质量稳定性以及一致性的控制提出了更高的要求。本文介绍了HgCdTe外延材料批量化生产中这几项关键指标的控制,以及外延质量优化后红外焦平面性能的提升。Abstract:关键词:

    Abstract:

    After the years of research and development,HgCdTe infrared focal plane array(FPA) detector has reached the level of mass production.The excellent performance of HgCdTe infrared detector cannot leave the high quality epitaxial material,the thickness of epitaxial material uniformity and components,the control of surface defects and extensional HgCdTe/CdZnTe substrate lattice matching degree is the key factor is the need to control in mass production,mass production of infrared detector also give HgCdTe epitaxial material quality stability and consistency of control put forward higher requirements.This paper introduces the control of these key indexes in the mass production of HgCdTe epitaxial material and the improvement of the infrared focal plane performance after the epitaxial quality optimization.

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引用本文

张冰洁,杜宇,陈晓静,杨朝臣,袁文辉,张传杰,周文洪,刘斌,黄立. HgCdTe外延材料批量化生产及其质量控制[J].激光与红外,2020,50(9):1099~1103
ZHANG Bing-jie, DU Yu, CHEN Xiao-jing, YANG Zhao-chen, YUAN Wen-hui, ZHANG Chuan-jie, ZHOU Wen-hong, LIU Bin, HUANG Li. Mass production and quality control of HgCdTe epitaxial material[J]. LASER & INFRARED,2020,50(9):1099~1103

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