甚长波碲镉汞探测器的注入区扩散研究
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Research on the diffusion of the implantation zone of the very long wave HgCdTe detector
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    摘要:

    在碲镉汞甚长波320×256探测器上制备了不同注入区光刻尺寸的区域,通过对不同区域的信号及注入光刻尺寸的关系进行分析对比和数据拟合,获得了不同温度下的扩散距离和单位有效光敏面积在单位时间的响应电压,对于碲镉汞甚长波探测器的器件版图设计和性能提升提供了可靠的数据支撑。

    Abstract:

    In this paper,regions with different implantation areas were prepared on the HgCdTe very long wave 320×256 detector.The diffusion distance and response voltage per unit effective photosensitive area per unit time at different temperatures were obtained by analyzing and comparing the relationship between the signal and the implantation areas of different regions and data fitting,which provides reliable data for the device layout design and performance improvement of the mercury cadmium telluride very long wave detector.

    参考文献
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    引证文献
引用本文

刘世光,邢艳蕾,张敏,张轶,吴卿,王成刚.甚长波碲镉汞探测器的注入区扩散研究[J].激光与红外,2022,52(9):1374~1377
LIU Shi-guang, XING Yan-lei, ZHANG Min, ZHANG Yi, WU Qing, WANG Cheng-gang. Research on the diffusion of the implantation zone of the very long wave HgCdTe detector[J]. LASER & INFRARED,2022,52(9):1374~1377

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  • 最后修改日期:2021-11-02
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  • 在线发布日期: 2022-09-23
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